Die 排布 优化

搜索更合适的 Die 长宽与整数阵列，对比晶圆面积利用率、曝光场利用率与曝光次数，查看 OWE、MFU 和 DPW 的取舍。

OWE / MFU / DPW · 0.01 mm 尺寸网格 · 几何估算